SuperView W1系列納米級白光干涉三維形貌儀以0.1nm級分辨率、8μm/s掃描速度、300+種標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)，一站式解決超精密測量精度不足、多材質(zhì)適配難、批量檢測效率低等測量難題。應(yīng)用覆蓋半導(dǎo)體、3C電子等多行業(yè)場景，數(shù)據(jù)驅(qū)動檢測，賦能精密制造升級。

中圖儀器SuperView W系列0.1nm形貌重復(fù)性白光干涉儀一鍵完成單/多區(qū)域自動測量、批量分析，編程測量功能可預(yù)設(shè)流程實(shí)現(xiàn)一鍵操作，單個精細(xì)器件測量用時短，大幅提升檢測 throughput。

SuperViewW工業(yè)表面3D白光干涉檢測儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperViewW白光干涉3D表面輪廓儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個精細(xì)器件的過程用時短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。

SuperViewW1白光干涉光學(xué)輪廓儀系統(tǒng)可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。SuperViewW具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)。

SuperViewW納米級光學(xué)輪廓白光干涉儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個精細(xì)器件的過程用時短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。