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        技術(shù)文章

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        • 輪廓度測量儀在光刻掩模版平整度檢測中的實踐

          2025-11-08 在先進半導(dǎo)體制造中,光刻掩模版的平整度直接關(guān)系到投影到晶圓上的圖形保真度。任何微小的形變都會引起焦面偏移和像差,導(dǎo)致線寬不均甚至圖形缺陷。輪廓度測量儀以其高精度、全表面掃描能力,成為掩模版平整度質(zhì)量控制的核心設(shè)備。實踐核心:高精度面形數(shù)據(jù)獲取與關(guān)鍵參數(shù)解析輪廓度測量儀通過非接觸式探針(通常是激光或白光共聚焦傳感器)在掩模版表面進行高速、密集的點陣掃描,獲取整個表面的三維形貌數(shù)據(jù)。實踐中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)包括:基準建立與裝夾應(yīng)力控制:測量前必須建立一個精確的參考平面。掩模版的支撐與固定...
        • 三坐標測量軟件PowerDMIS 在 ISO 1101:2017 線輪廓度公差驗證中的應(yīng)用

          2025-11-03 一、幾何公差二、線輪廓線輪廓度是表示在零件的給定平面上,任意形狀的曲線保持理想形狀的狀況。線輪廓度公差是指非圓曲線的實際輪廓線對理想輪廓線允許的變動量,用于控制零件上的平面曲線的截面輪廓線的形狀誤差。生產(chǎn)中常見零件的非圓曲線有凸輪輪廓線、渦輪葉片截面輪廓線、非圓曲線樣板或靠模工作面等。非圓曲線形狀都比較復(fù)雜,圖樣上通常采用理論正確尺寸來確定其理想形狀。根據(jù)零件的功能需要,線輪廓度有兩類不同性質(zhì)的要求。1、無基準要求的線輪廓度指被測輪廓線為單一要素,即僅對其本身給出形狀公差要求...
        • 激光干涉儀檢測醫(yī)療CT滑軌運行精度及旋轉(zhuǎn)架定位精度

          2025-10-28 在醫(yī)療影像技術(shù)日新月異的今天,CT掃描的的精度與效率直接影響著疾病的早期診斷與治療決策。而在醫(yī)療CT的“透視眼”背后,有一雙看不見的“激光手”正在重塑診斷精度,這便是激光干涉儀。當0.1毫米的誤差可能影響腫瘤的定位,當微米級的震動可能導(dǎo)致圖像拾取模糊,這項源于服務(wù)工業(yè)母機上的能力,正以微米級的測量精度,逐漸向醫(yī)療行業(yè)賦予“超能力”。一、測量需求檢查床CT滑軌運行的定位精度、重復(fù)精度、直線度,旋轉(zhuǎn)架的旋轉(zhuǎn)精度和旋轉(zhuǎn)定位精度。二、行業(yè)痛點傳統(tǒng)方法是人工通過百分表或千分表打表,測量...
        • 三坐標仿真教學(xué)系統(tǒng)助力職業(yè)教育發(fā)展

          2025-10-27 三坐標虛擬測量訓(xùn)練是《工程技術(shù)訓(xùn)練(金工實習(xí))》中的一個必修訓(xùn)練模塊,通過對三坐標模擬訓(xùn)練軟件的使用,使學(xué)生掌握三坐標測量零件的基本原理與方法。傳統(tǒng)三坐標教學(xué)所用設(shè)備為接觸式三坐標測量機,在高職院校中的教學(xué)效果并不理想:(1)實體三坐標測量機價格昂貴(數(shù)十萬至數(shù)百萬不等),中職、高職和普通本科院校往往設(shè)備數(shù)量有限;(2)教學(xué)形式以教師演示學(xué)生觀摩為主,測頭成本高,擔(dān)心操作失誤損壞(自動測頭價格10萬到幾十萬不等)(3)單臺設(shè)備排隊使用,耗時較長,學(xué)生實操機會少,難以滿足個性化...
        • 無線球桿儀在維護與保養(yǎng)方面也是有技巧的

          2025-10-24 無線球桿儀是數(shù)控機床(CNC)動態(tài)精度檢測的核心工具,通過測量兩軸聯(lián)動形成的圓軌跡與標準軌跡的偏差,快速診斷幾何誤差、動態(tài)誤差及間隙誤差,為機床調(diào)試、補償及預(yù)防性維護提供數(shù)據(jù)支持。其核心部件為高精度伸縮式線性傳感器,兩端各有一個精密球,通過磁力碗座分別固定在機床主軸和工作臺上。當機床按預(yù)設(shè)圓軌跡運行時,傳感器實時采集實際軌跡數(shù)據(jù),并與標準軌跡對比,分析誤差類型(如反向間隙、垂直度、伺服不匹配等)及幅值。無線設(shè)計通過藍牙傳輸數(shù)據(jù),避免線纜干擾,支持在防護門關(guān)閉狀態(tài)下操作,提升安...
        • 無線球桿儀究竟是如何進行操作的呢?

          2025-10-22 無線球桿儀是數(shù)控機床(CNC)動態(tài)精度檢測的核心工具,通過測量兩軸聯(lián)動形成的圓軌跡與標準軌跡的偏差,快速診斷幾何誤差、動態(tài)誤差及間隙誤差,為機床調(diào)試、補償及預(yù)防性維護提供數(shù)據(jù)支持。其核心部件為高精度伸縮式線性傳感器,兩端各有一個精密球,通過磁力碗座分別固定在機床主軸和工作臺上。當機床按預(yù)設(shè)圓軌跡運行時,傳感器實時采集實際軌跡數(shù)據(jù),并與標準軌跡對比,分析誤差類型(如反向間隙、垂直度、伺服不匹配等)及幅值。無線設(shè)計通過藍牙傳輸數(shù)據(jù),避免線纜干擾,支持在防護門關(guān)閉狀態(tài)下操作,提升安...
        • 影響三坐標測量機測量精度的關(guān)鍵因素分析

          2025-10-16 三坐標測量機作為高精度幾何量檢測設(shè)備,其測量精度受機械結(jié)構(gòu)、環(huán)境條件、操作規(guī)范及軟件算法等多因素耦合影響。以下從四大維度解析關(guān)鍵影響因素:一、機械結(jié)構(gòu)與運動精度導(dǎo)軌直線度與垂直度導(dǎo)軌是測頭運動的基礎(chǔ),其直線度誤差(通常需控制在±2μm/m以內(nèi))會直接傳遞至測量結(jié)果。例如,X軸導(dǎo)軌的垂直度偏差超過0.02mm/m時,會導(dǎo)致空間點坐標計算出現(xiàn)系統(tǒng)性誤差。傳動系統(tǒng)精度光柵尺分辨率(如0.1μm)與電機編碼器精度(如±0.5角秒)共同決定位置反饋的準確性。...
        • 什么是掃描電鏡?掃描電鏡的工作原理、功能、應(yīng)用案例

          2025-09-25 掃描電鏡(ScanningElectronMicroscope,SEM)是一種高分辨率的電子顯微鏡,廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生物學(xué)、地質(zhì)學(xué)等多個領(lǐng)域。其工作原理基于電子與物質(zhì)間的相互作用,通過發(fā)射電子束并使其在樣品表面掃描,從而激發(fā)樣品產(chǎn)生各種物理信號,這些信號再被收集、放大并轉(zhuǎn)換成圖像。掃描電鏡在工作時,掃描電鏡的電子槍發(fā)射出電子束,這些電子在加速電壓的作用下,經(jīng)過電磁透鏡聚焦成細小的束斑。隨后,電子束在掃描線圈的作用下,按一定規(guī)律在樣品表面進行掃描。當電子束照射到樣品表面時,...
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