產(chǎn)品簡介

中圖激光干涉儀通用長度測量工具sj6000利用激光干涉現(xiàn)象來實(shí)現(xiàn)非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點(diǎn)。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

中圖激光干涉儀通用長度測量工具sj6000利用激光干涉現(xiàn)象來實(shí)現(xiàn)非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點(diǎn)。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

產(chǎn)品功能

（1）可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；

（2）可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

（3）可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；

（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

（5）具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

（6）支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

動(dòng)態(tài)測量應(yīng)用

基于時(shí)間的動(dòng)態(tài)測量

機(jī)器運(yùn)動(dòng)控制性能評(píng)價(jià)：

1.運(yùn)動(dòng)控制器PID控制參數(shù)測試與設(shè)置

2.高速運(yùn)動(dòng)后機(jī)器的穩(wěn)定性測試與評(píng)價(jià)

3.高性能運(yùn)動(dòng)控制器的微小步幅的測試

振動(dòng)監(jiān)視

1.掃描應(yīng)用：用于定位精度不重要，但恒速對(duì)實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量成像非常關(guān)鍵的場合

2.機(jī)床應(yīng)用：典型應(yīng)用包括要求刀具慢速、平穩(wěn)輪廓運(yùn)動(dòng)的高質(zhì)量表面精加工

振動(dòng)頻率分析

1.被測對(duì)象的振動(dòng)頻率分析

2.FFT快速傅立葉變換分析

基于距離的動(dòng)態(tài)測量

基于距離的動(dòng)態(tài)測量，SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)將沿著軸線“飛行"測量，即運(yùn)動(dòng)軸在不停頓的情況下以用戶間隔進(jìn)行數(shù)據(jù)采集。

提供脈沖觸發(fā)方式采集

CT70正交觸發(fā)盒可監(jiān)控光柵、編碼器、控制器等信號(hào)，配合SJ6000激光干涉儀，可實(shí)現(xiàn)脈沖觸發(fā)啟動(dòng)采集和連續(xù)脈沖觸發(fā)采集。適用于運(yùn)動(dòng)軸在不停頓的情況下，觸發(fā)激光干涉儀按照間隔位置進(jìn)行數(shù)據(jù)采集。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、使用高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)；

2、以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達(dá)nm級(jí)；

3、使用高速光電信號(hào)采樣和處理技術(shù)，測量速度可達(dá)到4m/s；

4、配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度；

5、分離式干涉鏡設(shè)計(jì)，避免了測量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變。

在機(jī)床領(lǐng)域中的應(yīng)用

中圖激光干涉儀通用長度測量工具是一種能夠測量機(jī)床精度的高精度測量裝置。它利用激光干涉現(xiàn)象來實(shí)現(xiàn)非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點(diǎn)，在機(jī)床加工領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。

1.測量機(jī)床導(dǎo)軌的直線度和平行度。

導(dǎo)軌是機(jī)床中的重要零部件，直線度和平行度的誤差會(huì)直接影響機(jī)床的加工精度和穩(wěn)定性。激光干涉儀可以通過測量導(dǎo)軌上的干涉條紋來確定其直線度和平行度的偏差，從而指導(dǎo)后續(xù)的優(yōu)化和調(diào)整。

2.測量機(jī)床工作臺(tái)的平面度和垂直度。

機(jī)床工作臺(tái)的平面度和垂直度直接影響工件的加工精度和質(zhì)量。通過激光干涉儀測量工作臺(tái)上的干涉條紋，可以快速發(fā)現(xiàn)工作臺(tái)的不平整和非垂直狀態(tài)，并及時(shí)進(jìn)行調(diào)整和修正，確保工件的加工精度和穩(wěn)定性。

3.測量機(jī)床主軸的同心度和軸向垂直度。

機(jī)床主軸的同心度和軸向垂直度是決定機(jī)床加工精度的關(guān)鍵因素。通過激光干涉儀測量主軸上的干涉條紋，可以準(zhǔn)確判斷主軸的同心度和軸向垂直度是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)要求，從而為后續(xù)的機(jī)床調(diào)整和校準(zhǔn)提供依據(jù)。

4.其它

除了上述應(yīng)用，激光干涉儀還可以用于測量機(jī)床各個(gè)部件之間的相對(duì)位置和尺寸關(guān)系，從而檢測和糾正機(jī)床的裝配誤差。此外，激光干涉儀還可以用于檢測機(jī)床在運(yùn)行過程中的變形和振動(dòng)情況，及時(shí)發(fā)現(xiàn)機(jī)床的故障和異常狀態(tài)，保證機(jī)床的穩(wěn)定性和可靠性。

對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行螺距誤差補(bǔ)償

部分技術(shù)規(guī)格

平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息，請隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。