產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SuperViewW1光學(xué)輪廓儀除了用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓外，還具有測(cè)量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量，應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。測(cè)量速度快，不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量，非接觸高精密測(cè)量也不會(huì)劃傷甚至破壞工件。特別對(duì)高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu)，可以快速而準(zhǔn)確的得到理想的測(cè)量結(jié)果。

SuperViewW1光學(xué)輪廓儀除了用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓外，還具有測(cè)量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量，應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。它以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以?xún)?yōu)于納米級(jí)的分辨率測(cè)各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)，既可以用于科學(xué)研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測(cè)。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能；

2）測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能；

3）測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能；

4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

主要應(yīng)用領(lǐng)域

1、用于太陽(yáng)能電池測(cè)量；

2、用于半導(dǎo)體晶圓測(cè)量；

3、用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness)測(cè)量；

4、用于機(jī)械部件的計(jì)量；

5、用于塑料，金屬和其他復(fù)合型材料工件的測(cè)量。

SuperViewW1光學(xué)輪廓儀作為非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量?jī)x器，測(cè)量速度快，不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量，非接觸高精密測(cè)量也不會(huì)劃傷甚至破壞工件。特別對(duì)高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu)，可以快速而準(zhǔn)確的得到理想的測(cè)量結(jié)果。