NS系列亞納米級垂直分辨率臺階儀臺階高度重復性能低于5A，Z0向測量量程可到1050um。最高垂直分辨率可達亞埃米級，且垂直方向動態(tài)比率高，可以獲取表面輪廓形貌、粗糙度、波紋度、形狀誤差及其它一些形貌特征等綜合信息。探針物理接觸測量結果穩(wěn)定可靠，重復性好，精準拿捏測量的輪廓形貌細節(jié)。

中圖儀器微觀3D形貌共聚焦顯微鏡主要應用于半導體、光學膜材、顯示行業(yè)、超精密加工等諸多領域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中，其次是對表面粗糙度、面積、體積等參數(shù)的檢測中。

CEM3000中圖儀器臺式電鏡是一款用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設備。憑借空間分辨率出色和易用性強，用戶能夠非常快捷地進行各項操作。甚至在自動程序的幫助下，無需過多人工調(diào)節(jié)，便可一鍵得到理想的拍攝圖片。

CEM3000系列掃描電鏡中圖儀器是一款用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設備。憑借空間分辨率出色和易用性強，用戶能夠非常快捷地進行各項操作。甚至在自動程序的幫助下，無需過多人工調(diào)節(jié)，便可一鍵得到理想的拍攝圖片。

中圖儀器0.1nm分辨率白光干涉儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

CEM3000微觀形貌觀測分析掃描電鏡在自動程序的幫助下，無需過多人工調(diào)節(jié)，便可一鍵得到理想的拍攝圖片。CEM3000臺式掃描電鏡無需占據(jù)大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實時呈現(xiàn)所得結果。