SuperViewW13d光學(xué)輪廓測量儀可以測到12mm，也可以測到更小的尺寸，XY載物臺標準行程為140*110mm，局部位移精度可達亞微米級別，鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達0.4um，Z向掃描電機可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達0.1nm級別，因此可測非常微小尺寸的器件。

SJ5700S大行程粗糙度輪廓儀可測量各種精密機械零件的粗糙度和輪廓形狀參數(shù)。用擬合法來評定圓弧、直線等參數(shù)。從而可測量圓弧半/直徑、直線度、角度、凸度、位置度、平行度、溝心距、傾斜度、垂直距離、水平距離、臺階等形狀參數(shù)。該儀器還可對各種零件表面的粗糙度進行測試評定。

中圖儀器SJ5700S接觸式輪廓儀是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的測量儀器，具備雙向測量功能，能測量30mm以內(nèi)的雙向輪廓尺寸；可對多次測量的輪廓曲線匹配后進行分析測量重復(fù)性；具備60μm以下的表面薄膜臺階高度高精度測量功能。

SJ5800表面輪廓儀是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的高精度測量儀器，具有12mm-24mm的粗糙度輪廓一體式測量范圍，分辨率達到0.1nm；適合測量大曲面高精密零部件的輪廓參數(shù)測量，同時具備球面、弧面、非球面輪廓參數(shù)評價功能，能夠滿足各種高精密輪廓粗糙度加工行業(yè)的測量需求。

中圖儀器SuperViewW1光學(xué)輪廓儀粗糙度檢測儀器以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

中圖儀器SJ5700S粗糙度輪廓度一體機是一款大量程粗糙度輪廓一體式測量儀，可測量各種精密機械零件的粗糙度和輪廓形狀參數(shù)。用擬合法來評定圓弧、直線等參數(shù)。從而可測量圓弧半/直徑、直線度、角度、凸度、位置度、平行度、溝心距、傾斜度、垂直距離、水平距離、臺階等形狀參數(shù)。