臺(tái)階儀是一種接觸式表面形貌測(cè)量?jī)x器，可以對(duì)微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測(cè)量。中圖儀器NS系列臺(tái)階儀接觸式表面形貌測(cè)量?jī)x廣泛應(yīng)用于：大學(xué)、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所、半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機(jī)電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)領(lǐng)域。

SuperViewW1國(guó)產(chǎn)三維白光干涉儀以白光干涉技術(shù)原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量，通過測(cè)量干涉條紋的變化來測(cè)量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測(cè)量。

SuperViewW1國(guó)產(chǎn)白光干涉顯微鏡以白光干涉技術(shù)為原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，通過測(cè)量干涉條紋的變化來測(cè)量表面三維形貌，用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量。

VT6000激光共聚焦顯微成像儀配備了真彩相機(jī)并提供還原的3D真彩圖像，對(duì)細(xì)節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn)。儀器整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，由一臺(tái)輕量化的設(shè)備主機(jī)和電腦構(gòu)成，控制單元集成在設(shè)備主機(jī)之內(nèi)，亦可采用筆記本電腦驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了“拎著走”的便攜式設(shè)計(jì)。

中圖臺(tái)階儀應(yīng)用場(chǎng)景適應(yīng)性強(qiáng)，其對(duì)被測(cè)樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求，能夠廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能光伏、光學(xué)加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位，其對(duì)表面微觀形貌參數(shù)的準(zhǔn)確表征，對(duì)于相關(guān)材料的評(píng)定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。

在材料生產(chǎn)檢測(cè)領(lǐng)域中，VT6000轉(zhuǎn)盤共聚焦高分辨率顯微鏡結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描，可測(cè)各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。